化合物半導体GaAs基板はスマートフォン用パワーアンプ・スイッチ、LED(照明、装飾、表示器)、太陽電池用セルに使われ、InP基板は光通信用モジュールなどに使われています。
化合物半導体GaN基板(窒化ガリウム基板)は、その優れた材料特性から、青紫色から緑色領域での光デバイス用基板として広く使われております。また近年、パワーデバイス用基板としても注目をされており、多くの開発が進められています。